2)第287章 技术路线_千禧年半导体生存指南
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  为新芯在张江,帮助张江片区的房价几乎是每年一个样,每年上一个台阶。当下地方政府已经开始依赖土地收入了。

  更别提新芯在张江带动的上下游产业链,创造的就业岗位了,因此张江直接批了一整块地给新芯,新芯相当于在张江高科技园区的范围里建了自己的产业园。

  这块产业园目前不仅新芯自己在用,同时还把部分闲置的区域租给了其他芯片公司。

  “林叔,我认为浸润法会是一个可行的技术路线,和现在的干式光刻机相比,在曝光区域和光刻机透镜之间充满水,可以利用折射让光源的波长更短。”

  经过这三年的一起工作,周新和林本坚之间建立了充分的信任基础,因此像这种技术机密他能直接告诉对方。

  信任基础是一方面,另外双方的利益通过新芯半导体高度绑定又是另一方面,周新不仅给了林本坚新芯光刻机的股份,还考虑到新芯光刻机在短期很难创造效益,甚至因为阿美利肯的打压长期都无法创造效益,因此除了新芯光刻机股份之外,还给了对方新芯科技芯片代工这一板块的期权。

  这是台积电绝对开不出的待遇。

  林本坚听完后说:“我本来也打算和你说我的想法,我正打算和新芯光刻机的同事们一起写几篇论文发给你,说服你选择浸没式,好吧你叫浸没式,其实我们打算叫它湿法光刻机。”

  是的,林本坚也打算在新芯光刻机130nm制程工艺的光刻机上采取浸没式的技术路线。

  周新听完后倒也没有特别惊讶,作为光学领域的顶级牛人,林本坚能想到湿法并不奇怪,周新问起另一个问题:“为什么要争取我的同意?

  之前我们在沟通要做光刻机这件事的时候,不就说好了,我不会干预新芯光刻机的经营,经营全权交给你吗?”

  林本坚点头:“之前我们确实是这样沟通的,但是现在情况又不一样,要走湿法光刻机的路线,是在和全世界为敌。

  我们需要说服光刻机各种元器件的供应商,尤其是蔡司,和我们配合,我们做过湿法光刻机的预研究工作。

  和干式光刻机相比,我们需要改变镜头组,之前的透镜组合可能无法满足我们的需要。

  中间还涉及大量的技术性工作,比如说水放进去之后空气可能会产生气泡,水必须非常均匀,但是实际上会有光照到水上,光照到水上会产生温差,温差就会导致水不均匀。水不均匀会进一步影响到成像。

  中间有大量技术性工作要做,新芯光刻机的体量太小,过去的时间里业内在干式光刻机领域投入了超过十亿美元的研发费用,我们现在相当于完全另起炉灶。

  湿法光刻机是否真的能达到我们预期的效果,我不确定。

  这是赌上新芯光刻机的命运。”林本坚眼神中

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